FFKM 為全氟化橡膠,科騰密封於2000年成功產出國產第一條高科技專用全氟化彈性體KTseal R (Perfluoroelastomer)。KTseal R 除了擁有鐵弗龍、氟化橡膠的優異耐化學性,而其耐熱性亦超過一般的氟化橡膠,同時其還兼具了橡膠的彈性,是一項革命性的產品。
至於耐化學性方面,在一般氟化橡膠無法適用的醚類、胺基化合物類、酮類、氧化劑、有機溶劑、燃料、酸、鹼等在在顯示出其安定性,幾乎對所有化學品都具有優異的安定性。另外在耐熱性(以JIS K6301等的壓縮變形測試 結果為基準)方面,於約300℃的高溫下,也較能保有橡膠的物性。
因此,將FFKM零件應用於半導體製造設備的密封材料時,它可以:
延長密封壽命
提升半導體產品的良率
減少維修成本
減低污染程度